반도체 공정용으로 맞춤 설계
배기 라인 오염이 발생하는 CVD, 에칭 및 기타 공정에 대해 INFICON 가열 배기 라인을 권장합니다.
배기 라인 벽에 있는 응결된 부산물은 전도력을 감소시키고 입자 오염 가능성을 높입니다.
배기 라인을 공정 온도까지 가열하면 응결이 제거되어 주요 공정 파라미터의 가동간(run-to-run) 반복성을 개선시킵니다. 그 외의 이점으로는 유해 화학물질에 대한 노출 감소와 예방 정비 일정 연장 등이 있습니다.
특징 요약
- 모듈러 어셈블리
- 맞춤 구성
- 뛰어난 열 성능
- 벽 온도의 자동 온도 조절
- 일체형 열 보호
- LTA 제어 회로는 개별 히터 성능을 감시합니다
- 차가운 촉감(Cool-to-the-touch)의 외부 표면
- 독특한 접합 공정은 차가운 부분을 없애고 열 전이를 개선하여 워밍업이 빠르고 히터 수명이 연장됩니다
- 에너지 소비량 감소
- UL, SEMI S2 및 CE 마크 획득
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Datasheet - Exhaust Line (siba10e1.pdf)
English
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