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Semiconductor
>    Vakuumkomponenten    >   Mechanical Feedthroughs   

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> Vakuumkomponenten
 
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•  ISO-F Fixed Flange Components
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> Vakuummeter
> Vakuumventile und Gasdosierungssysteme



Mechanische Durchführungen
Drehbare Durchführungen ISO-KF / ISO-K (FRH DN16 - DN63)
  • Zum Übertragen eines hohen Drehmoments
  • Mit FPM-Wellendichtung und Kugellagern

Drehbare Durchführungen CF (FRU DN16 - DN40)
  • Mit Federbalg
  • Ganzmetallversion
  • Für sehr anspruchsvolle Vakuumanforderungen

Durchführungen, drehbar/lineare Bewegung ISO-KF (FCH DN16 - DN40)
  • Zwei FPM-Wellendichtungen
  • Direkter Betrieb durch Drücken/Ziehen und Drehen
  • Mit Sperrring und optionaler Anti-Rotationsvorrichtung

Durchführungen mit linearer Bewegung CF (FRU DN16 - DN40)
  • Mit Winkeln für anspruchsvollere Vakuumanforderungen
  • Direkter Betrieb durch Drücken und Ziehen
  • Hochpräzise Justierung mit Mikrometerschraube

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ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION

Brochures and Datasheets:

   Datasheet - FCH DN16-DN40 (riba03e1.pdf)
English

   Datasheet - FPU DN16-DN40 CF (riba04e1.pdf)
English

   Datasheet - FRH DN16-DN63 ISO-KF/ISO-K (riba01e1.pdf)
English

   Datasheet - FRU DN16-DN40 CF (riba02e1_a.pdf)
English

Operations and Maintenance Manuals:

   Gebrauchsanleitung - FCH016-H (rina06d1.pdf)
English

   Gebrauchsanleitung - FCH025-H (rina07d1.pdf)
English

   Gebrauchsanleitung - FCH040-H (rina08d1.pdf)
English

   Gebrauchsanleitung - FPU016-H (rina10d1.pdf)
English

   Gebrauchsanleitung - FPU016-Z (rina14d1.pdf)
English

   Gebrauchsanleitung - FPU040-H (rina11d1.pdf)
English

   Gebrauchsanleitung - FPU040-Z (rina15d1-a.pdf)
English

   Gebrauchsanleitung - FRH016-H (rina02d1.pdf)
English

   Gebrauchsanleitung - FRH025-H (rina03d1.pdf)
English

   Gebrauchsanleitung - FRH040-H (rina04d1.pdf)
English

   Gebrauchsanleitung - FRH063-H (rina05d1.pdf)
English

   Gebrauchsanleitung - FRU016-H (rina12d1.pdf)
English

   Gebrauchsanleitung - FRU040-L (rina09d1.pdf)
English

   Gebrauchsanleitung - FRU040-N (rina13d1.pdf)
English

   Operating Manual - FCH016-H (rina06e1.pdf)
English

   Operating Manual - FCH025-H (rina07e1.pdf)
English

   Operating Manual - FCH040-H (rina08e1.pdf)
English

   Operating Manual - FPU016-H (rina10e1.pdf)
English

   Operating Manual - FPU016-Z (rina14e1.pdf)
English

   Operating Manual - FPU040-H (rina11e1.pdf)
English

   Operating Manual - FRH016-H (rina02e1.pdf)
English

   Operating Manual - FRH025-H (rina03e1.pdf)
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   Operating Manual - FRH040-H (rina04e1.pdf)
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   Operating Manual - FRU016-H (rina12e1.pdf)
English

   Operating Manual - FRU040-L (rina09e1.pdf)
English

   Operating Manual - FRU040-N (rina13e1.pdf)
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   Operating manual - FPU040-Z (rina15e1_a.pdf)
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